LZS純水加温ユニット

製品概要

半導体製造工程、電子部品製造工程のなかで、純水の温度を上げ洗浄効果を高めることは既に知られています。本製品は、純水対応シェル型ヒーターとコントロール部で構成されたもので、純水を効率良く最大90℃まで加温する加温ユニットです。

■特徴

●シェル本体の流体接触部はSUS304製で特殊表面処理が施されています。

●ヒーターエレメントは、φ12 SUS316L製で特殊表面処理が施され、ワット密度は安全・効率を考えた4W/cm2で設計されています。

●専用コントローラにより高精度な温度コントロールが得られます。また、過昇防止機能を有した安全設計です。

■制御

●ヒーター回路構成

　・コントロールヒーター×1回路

　・ベースヒーター×2回路

●制御方式

　・コントロールヒーター　　PID制御　SSR駆動

　・ベースヒーター　　1回路　常時ON　　1回路　ON/OFF切換

■安全装置

●漏電ブレーカー　●温度警報　●過昇防止機能